微系統(tǒng)技術簡稱MST,它的基本工藝技術是硅的腐蝕和鍵合。MST的前景是壯觀的,其工藝是從集成電路加工派生出的批量加工技術。預期,MST將會同集成電路一樣,通過新的而且便宜的產品來改變人們的生活。
微系統(tǒng)技術簡稱MST,它的基本工藝技術是硅的腐蝕和鍵合。MST的前景是壯觀的,其工藝是從集成電路加工派生出的批量加工技術。預期,MST將會同集成電路一樣,通過新的而且便宜的產品來改變人們的生活。MST的潛在應用包括汽車里的壓力傳感器和加速度計,也包括流量傳感器、溫度傳感器、力傳感器、位置傳感器、磁場傳感器、化學傳感器、光傳感器、紅外輻射產傳感器等,MST不但便宜,而且具有獨特的性能。
在微系統(tǒng)技術微系統(tǒng)技術的發(fā)展歷史上,集成電路(IC)是技術的起點。電子器件小型化和多功能信成是微加工技術的推動力。如果沒有微加工和小型化技術的迅猛發(fā)展,許多今天看來理所當然的科學和工程成就都不可能實現(xiàn)。
微系統(tǒng)技術是由集成電路技術發(fā)展而來的,經過了大約20年的萌芽階段,即由20世紀60年代中期到20世紀80年代。在這段萌芽時期,主要是開展一些微系統(tǒng)技術的零散研究。例如,開發(fā)了硅各向異性腐蝕技術用于在平面硅襯底上加工三維結構;一些研究機構和工業(yè)實驗室里的研究者開始利用集成電路的加工技術制造微系統(tǒng)技術器件,例如懸臂梁、薄膜和噴嘴;微傳感器的關鍵部件,如單晶硅和多晶硅中的壓阻被發(fā)現(xiàn)、研究和優(yōu)化。
在微系統(tǒng)技術的研發(fā)時期,涌現(xiàn)出了一些具有重要意義的研究成果。1967年,Westinghouse公司發(fā)明了一種諧振柵晶體管(RGT)。它與傳統(tǒng)的晶體管不同,RGT的電柵極不是固定在柵氧化層上,而是相對硅襯底可動。由靜電力控制柵電極和襯底之間的間距。RGT是靜電微執(zhí)行器的最早實例。
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微系統(tǒng)市場規(guī)模
微系統(tǒng)產品憑其優(yōu)質的性能,廣泛應用于智慧醫(yī)療、航空、消費電子、智慧物流等領域,行業(yè)的技術水平發(fā)展較好,產品附加值較高,凈利率較高。2019年上半年,微系統(tǒng)產品的凈利率約為10.24%,在大多數(shù)行業(yè)中處于中上水平。2019年上半年,中國微系統(tǒng)行業(yè)市場規(guī)模約為267.5億元。
2015-2019年微系統(tǒng)行業(yè)償債能力分析
圖表:2015-2019年上半年中國微系統(tǒng)行業(yè)速動比率情況
數(shù)據(jù)來源:中研普華產業(yè)研究院
微系統(tǒng)行業(yè)對于投入資金的要求較高,所以行業(yè)的整體負債情況偏高,同時行業(yè)對于現(xiàn)金的吸納能力較強,貨幣資金較高。2019年上半年,中國微系統(tǒng)行業(yè)的速動比率約為1.51,行業(yè)償債能力較高。
2020-2025年天津微系統(tǒng)技術發(fā)展現(xiàn)狀及投資發(fā)展可行性分析報告
微系統(tǒng)是以微納尺度理論為支撐,以微納制造及工藝等為基礎,不斷融入微機械、微電子、微光學、微能源、微流動等各種技術,具有微感知、微處理、微控制、微傳輸、微對抗等功能,并通過功能模塊的...
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