電子束曝光系統(tǒng)市場(chǎng)調(diào)研 2022電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)前景及現(xiàn)狀分析

• 2022年4月2日 LiuMingYue來(lái)源：百度百科 中研網(wǎng) 1395 92
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國(guó)內(nèi)電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)前景及現(xiàn)狀發(fā)展如何?隨著器件的特征尺寸不斷縮小，在掩模版制造中普遍采用電子束曝光和激光光刻設(shè)備，在這兩類設(shè)備中，電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)在性能和數(shù)量上均占優(yōu)勢(shì)。據(jù)統(tǒng)計(jì)，2021年日本電子束曝光系統(tǒng)的產(chǎn)量約為791臺(tái)，電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)增長(zhǎng)了2.

國(guó)內(nèi)電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)前景及現(xiàn)狀發(fā)展如何?隨著器件的特征尺寸不斷縮小，在掩模版制造中普遍采用電子束曝光和激光光刻設(shè)備，在這兩類設(shè)備中，電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)在性能和數(shù)量上均占優(yōu)勢(shì)。據(jù)統(tǒng)計(jì)，2021年日本電子束曝光系統(tǒng)的產(chǎn)量約為791臺(tái)，電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)增長(zhǎng)了2.06%;產(chǎn)值約為6.87億美元，較2020年增長(zhǎng)了3.0%。最先進(jìn)的激光制版系統(tǒng)，其束斑直徑在0.2μm左右，可以用來(lái)制作0.18μm，0.15μm生產(chǎn)線的掩模版，但對(duì)特征尺寸更小的器件的掩模，只能用電子束曝光系統(tǒng)來(lái)制作，特別是用于光學(xué)光刻中的銘版制造。

電子束曝光系統(tǒng)市場(chǎng)調(diào)研 2022電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)前景及現(xiàn)狀分析

隨著半導(dǎo)體制造工藝從10納米水平躍升到下一步7納米，會(huì)遇到諸如量子穿隧效應(yīng)之類的挑戰(zhàn)。值得注意的例子是英偉達(dá)的GeForce 10系列，代號(hào)‘NVIDIA TITAN X’的圖形處理器的顯示核心，采用了全部120億個(gè)晶體管來(lái)處理數(shù)字邏輯。

而Itanium的大多數(shù)晶體管是用來(lái)構(gòu)成其3千兩百萬(wàn)字節(jié)的三級(jí)緩存。Intel Core i7處理器的芯片集成度達(dá)到了14億個(gè)晶體管。目前所采用的設(shè)計(jì)與早期不同的是它廣泛應(yīng)用電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化工具，設(shè)計(jì)人員可以把大部分精力放在電路邏輯功能的硬件描述語(yǔ)言表達(dá)形式，而功能驗(yàn)證、邏輯仿真、邏輯綜合、布局、布線、版圖等可以由計(jì)算機(jī)輔助完成。

電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)使得圖案的曝光劑量會(huì)受到臨近圖案曝光劑量的影響(即臨近效應(yīng))，造成的結(jié)果是，顯影后，線寬有所變化或圖形畸變。雖然如此，限角度投影式電子束光刻仍是最具前景的非光學(xué)光刻。

電子束曝光系統(tǒng)產(chǎn)量及產(chǎn)值分析

據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，全球電子束曝光系統(tǒng)產(chǎn)能約為3564臺(tái)，產(chǎn)量約為3411臺(tái)，產(chǎn)能利用率約為95.71%。

近年來(lái)，中國(guó)電子束曝光系統(tǒng)的產(chǎn)量和產(chǎn)值都呈現(xiàn)出較快的增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。中國(guó)電子束曝光系統(tǒng)的產(chǎn)量約為864臺(tái)，電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)同比增長(zhǎng)12.06%;產(chǎn)值約為6.82億美元，同比增長(zhǎng)18.40%。

圖表：中國(guó)電子束曝光系統(tǒng)產(chǎn)量及產(chǎn)值情況

數(shù)據(jù)來(lái)源：中研普華產(chǎn)業(yè)研究院

美國(guó)市場(chǎng)電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)系統(tǒng)(EBL)產(chǎn)量、產(chǎn)值及增長(zhǎng)率

據(jù)統(tǒng)計(jì)，美國(guó)電子束曝光系統(tǒng)的產(chǎn)量約為268臺(tái)，較2020年增長(zhǎng)了5.10%;產(chǎn)值約為2.29億美元，較2020年增長(zhǎng)了6.02%。

圖表：美國(guó)電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)產(chǎn)量和產(chǎn)值情況

數(shù)據(jù)來(lái)源：中研普華產(chǎn)業(yè)研究院

歐洲市場(chǎng)電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)(EBL)產(chǎn)量、產(chǎn)值及增長(zhǎng)率

據(jù)統(tǒng)計(jì)，2021年歐洲電子束曝光系統(tǒng)的產(chǎn)量約為1364臺(tái)，電子束曝光系統(tǒng)市場(chǎng)增長(zhǎng)了6.98%;產(chǎn)值約為14.14億美元，較2020年增長(zhǎng)了12.67%。

圖表：歐洲電子束曝光系統(tǒng)產(chǎn)量及產(chǎn)值情況

數(shù)據(jù)來(lái)源：中研普華產(chǎn)業(yè)研究院

電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)研究咨詢報(bào)告由中研普華咨詢公司領(lǐng)銜撰寫(xiě)，對(duì)中國(guó)及各子電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)的發(fā)展?fàn)顩r、上下游行業(yè)發(fā)展?fàn)顩r、競(jìng)爭(zhēng)替代產(chǎn)品、電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)、新產(chǎn)品與技術(shù)等進(jìn)行了分析，并重點(diǎn)分析了中國(guó)行業(yè)發(fā)展?fàn)顩r和特點(diǎn)，以及中國(guó)行業(yè)將面臨的挑戰(zhàn)、企業(yè)的發(fā)展策略等。電子束曝光系統(tǒng)行業(yè)報(bào)告還對(duì)全球的行業(yè)發(fā)展態(tài)勢(shì)作了詳細(xì)分析。

更多電子束曝光系統(tǒng)市場(chǎng)調(diào)研及行業(yè)消息,可以點(diǎn)擊查看中研普華產(chǎn)業(yè)研究院的《2022年全球與中國(guó)電子束曝光系統(tǒng)(EBL)市場(chǎng)深度研究報(bào)告》。

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